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規格型号：Quanta 200 FEG

制造廠商：FEI Company

主要技術指标：

本機裝有固體背散射電子探頭，E-T二次電子探頭，LFGSED二次電子探頭，GSED二次電子探頭，X射線能譜議。可分别在高真空模式、低真空模式和環境掃描模式下進行二次電子、背散射電子形貌觀察以及材料成分分析。

加速電壓：500V~30kV

最大樣品尺寸：50×50

高真空模式下觀察分辨率<2nm，環境掃描模式<2nm

能譜的分辨率132eV元素測試範圍：B5~U92

聯系電話：021-695820140-605

地址：伟德网站是多少嘉定校區德才館124